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Spectroscopie d’électrons induits par rayons X

publié le , mis à jour le

Contact : Christine Labrugère

La spectroscopie XPS est bien adaptée à la caractérisation des surfaces des solides. Complémentaire à la spectroscopie d’électrons Auger, elle permet d’analyser l’évolution de l’environnement chimique d’un élément sur les premières couches atomiques d’un matériau. La surface est bombardée par des photons X qui éjectent des électrons des couches profondes des atomes : on parle ainsi d’effet photoélectrique. L’analyse du spectre en énergie des électrons émis permet d’identifier les éléments chimiques présents en surface à partir du lithium et d’en extraire leur concentration (méthode semi-quantitative).

L’appareil VG ESCALAB 220i-XL permet une analyse sur 5 nm de profondeur avec une résolution latérale de 150 µm en routine. Il possède des chambres annexes permettant de racler des échantillons massifs, d’effectuer des traitements thermiques et des dépôts sous ultra-vide. Il est par ailleurs équipé d’une lampe UV pour la spectroscopie UPS.

Le spectromètre Thermo Scientific K-Alpha est issu de la dernière génération d’appareils ; il est complètement automatisé. La taille du spot de rayons X varie de 30 à 400 µm. Le canon à ions argon, à tension et spot variables, permet de réaliser des profils en profondeur, et la double compensation de charges ions/e- autorise l’étude de tous les matériaux solides, conducteurs ou isolants.

Matériel disponible :

  • Spectromètre VG ESCALAB 220i-XL
  • Spectromètre K-Alpha ThermoFisher Scientific