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Microscopie à force atomique

publié le , mis à jour le

Contact : Christine Labrugère

La microscopie à force atomique permet d’observer à l’échelle atomique la topographie d’une surface d’échantillons conducteurs ou isolants issus d’un vaste domaine d’applications (surface de matériaux solides de toute nature, dépôts chimiques, matériaux biologiques, semi-conducteurs, polymères,…).
L’appareil utilise un scanner piézoélectrique X,Y,Z pour balayer un micro levier muni d’une pointe nanométrique dans le plan X,Y de la surface de l’échantillon tout en asservissant le déplacement vertical Z à une consigne relative aux différents modes d’interaction (la force quasi-statique d’appui en mode contact, ou l’amplitude du signal de résonance en contact intermittent). Le déplacement vertical est enregistré en chaque point de la surface balayée (typiquement 256 x 256 points pour max. 50 microns^2), ce qui permet d’accéder à une image en 3D de la surface, de calculer des paramètres de rugosité (Ra, RMS), et de dresser des profils en ligne afin de déterminer la taille des motifs.

L’appareil VEECO Dimension 3100 peut accepter des échantillons de 13 cm de diamètre sur une hauteur de 15 mm maximum, et autorise des mesures de rugosité du dixième de nanomètre à quelques micromètres à pression atmosphérique et à température ambiante.





Matériel disponible :

  • Microscope à force atomique VEECO Dimension 3100