CNRS

Rechercher




Accueil > Pôle Microanalyse de surfaces

Spectroscopie d’électrons induits par rayons X

publié le

Contact : Christine Labrugère

La spectroscopie XPS est bien adaptée à la caractérisation des surfaces des solides. Complémentaire à la spectroscopie d’électrons Auger, elle est intéressante pour analyser l’évolution de l’environnement chimique d’un élément sur les premières monocouches d’un matériau. La surface est bombardée par des photons X. L’analyse du spectre d’électrons émis permet d’identifier les éléments chimiques présents en surface à partir du lithium et d’en extraire leur quantification (méthode semi-quantitative).

L’appareil VG ESCALAB 220i-XL permet de faire une analyse sur 5 nm de profondeur avec une résolution latérale de 150 µm en routine. Il possède des chambres annexes permettant de racler des échantillons massifs, d’effectuer des traitements thermiques et des dépôts sous ultra-vide. Il est par ailleurs équipé d’une lampe UV pour la spectroscopie UPS.

Le spectromètre Thermo Scientific K-Alpha est la dernière génération d’appareils ; il est complètement automatisé. La taille du spot de rayons X varie de 30 à 400 µm. Le canon à ions argon, à tension et spot variables, permet de faire des profils en profondeur et la double compensation de charges ions/e- autorise l’étude de tous les matériaux solides, conducteurs ou isolants.




Matériel disponible :

  • Spectromètre VG ESCALAB 220i-XL
  • Spectromètre K-Alpha ThermoFisher Scientific