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Microsonde à spectrométrie X

publié le , mis à jour le

Contact : Michel Lahaye

Le principe de la microsonde à spectrométrie X consiste à exciter le matériau par un faisceau d’électrons focalisé et à analyser par un spectromètre à dispersion de longueur d’onde (WDS) le rayonnement X élémentaire provenant de l’échantillon. Une microsonde est généralement équipée de 3 à 5 spectromètres WDS munis de 2 ou 4 monochromateurs. Il est possible d’analyser tous les éléments à partir du bore. La spectrométrie par WDS présente l’avantage d’une résolution spectrale 5 à 10 fois meilleure que celle de l’EDS, habituellement utilisée en Microscopie à balayage, ce qui permet d’obtenir des résultats fiables, avec une précision de l’ordre de 1 à 2 % (relatifs) de la composition chimique élémentaire.

La microsonde CAMECA SX 100 a un seuil de détection de 10 ppm (partie par million), à partir du sodium. La taille de la sonde est de 1 µm³. L’appareil permet de faire des profils de composition quantitatifs, des cartographies X ou des mesures de composition locale sur tous les matériaux inorganiques.




Matériel disponible :

  • Microsonde CAMECA SX 100