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Spectrométrie d’électrons d’Auger

publié le

Contact : Michel Lahaye

La spectroscopie d’électrons Auger est complémentaire de la spectroscopie d’électrons induits par rayons X (XPS). Elle présente l’avantage d’une excellente résolution spatiale en largeur et en profondeur. Elle est donc bien adaptée pour analyser les éléments en surface d’un matériau, effectuer des profils en profondeur ou des profils en ligne sur une interface. Le principe des mesures consiste à recueillir les électrons Auger émis par une surface bombardée par des électrons. La résolution en profondeur est de 5 nm et le diamètre de sonde est de 20 nm ce qui différencie cette technique de l’XPS. Tous les éléments peuvent être analysés à partir du béryllium. L’analyse est semi-quantitative et particulièrement sensible pour les éléments légers.

La nanosonde Auger VG microlab 310 F est équipée d’un canon à ions Argon ; elle permet de faire des profils de concentration par décapage, de déterminer des épaisseurs de couches ou revêtements de quelques nanomètres à quelques microns, de réaliser des profils en ligne ou des cartographies élémentaires sur tous les matériaux solides et plus particulièrement les films minces.




Matériel disponible :

  • Nanosonde AUGER VG Microlab 310F